2014年8月11日國(guó)內(nèi)原ITO導(dǎo)電玻璃主力生產(chǎn)廠家，中國(guó)建材旗下的方興科技(SH:600552)發(fā)布公告，設(shè)立安徽方興光電新材料科技有限公司，投資金額4000萬元人民幣建立年產(chǎn)80萬平方米電容式觸摸屏柔性鍍膜生產(chǎn)線，項(xiàng)目建成后可實(shí)現(xiàn)年平均銷售收入1.35億元，生產(chǎn)期內(nèi)年平均稅后利潤(rùn)0.2億元，項(xiàng)目財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率31.32%，資本金財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率40.45%，投資回收期4.12年（含建設(shè)期）。

方興科技此次除了在重大項(xiàng)目建設(shè)中引入了“混合所有制”和“股權(quán)激勵(lì)”央企混合所有制改革外，也把透明導(dǎo)電膜新材料概念再次引入人們視野，帶動(dòng)透明導(dǎo)電膜材料概念企業(yè)動(dòng)作頻頻。

一、透明導(dǎo)電膜種類及用途

透明導(dǎo)電膜（TransparentConductiveOxide，TCO）是在可見光范圍內(nèi)具有高透明率具有導(dǎo)電特性的一種薄膜，為晶粒尺寸數(shù)百納米的多晶層，主要用于光電器件如液晶顯示器的透明電極、觸摸屏、薄膜太陽(yáng)能電池的透明電極等，上述透光度和導(dǎo)電性是兩個(gè)相互牽制的指標(biāo)，一般來講，導(dǎo)電性提高，透光度就會(huì)下降，反之也一樣。目前常見的透明導(dǎo)電薄膜包括氧化錫(TO)、氧化銦(IO)、銦錫氧化物(ITO)、摻銻氧化錫(ATO)、摻氟氧化錫(FTO)、摻鎘氧化錫(CTO)、摻銦氧化鋅(IZO)、摻鎵氧化鋅（GZO）、摻鋁氧化鋅（AZO)、導(dǎo)電聚合物塑料膜、納米金屬網(wǎng)格、碳納米管、納米導(dǎo)電絲、單層石墨烯等。

透明導(dǎo)電膜材料的研究起步于19世紀(jì)末，當(dāng)時(shí)是在光電導(dǎo)材料上涂上很薄的金屬薄膜；到了1950年，第二種透明導(dǎo)電膜In2O3（ITO）被制成，ITO導(dǎo)電膜開始在透明導(dǎo)電膜方面得到普遍應(yīng)用；在最近20年里，透明導(dǎo)電膜應(yīng)用主要以ITO材料為主，而在制程上以磁控濺鍍工藝為主。

在電容屏領(lǐng)域，主要應(yīng)用的ITO導(dǎo)電玻璃和ITOPET導(dǎo)電膜。

二、ITO玻璃組成結(jié)構(gòu)

ITO玻璃即氧化銦錫導(dǎo)電玻璃。通常氧化銦與氧化錫之比為9:1，其中起導(dǎo)電作用的主要是氧化錫，而其透明度則由氧化銦控制。據(jù)用途、襯底玻璃的不同，ITO玻璃分為如下三種結(jié)構(gòu)。

(A)

(C)

一般玻璃襯底為鈉鈣玻璃，其ITO層厚為250~2000?，折射率在2左右。襯底與ITO之間的SiO2阻擋層具有阻擋玻璃中Na+、Ca2+等離子的滲透，厚度通常為200~500?。如(C)所示之外層SiO2作為絕緣層，要求絕緣性能良好，其厚度一般為500~1000?。

三、ITO玻璃制造過程

在玻璃襯底上制備透明導(dǎo)電膜的方法有真空蒸發(fā)法、濺射法、噴霧法、涂覆法、浸漬法、化學(xué)氣壓沉積法、噴鍍熱解法與反應(yīng)離子鍍等。當(dāng)前工業(yè)化最有效的方法是磁控濺射法，亦稱高速低溫濺射法。

ITO玻璃的制作方法一般為直流反應(yīng)磁控濺射法，這種方法制得的導(dǎo)電膜層性能比較好。用大規(guī)模直流反應(yīng)磁控濺射技術(shù)制ITO玻璃的流程如下：

磨邊→切角→拋光→清洗→SiO2濺射→ITO清洗→ITO濺射→檢驗(yàn)→包裝

四、ITO導(dǎo)電膜主要技術(shù)指標(biāo)

ITO導(dǎo)電膜主要技術(shù)指標(biāo)包括透光率、方塊電阻、平整度、化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能等。

a)透光率

ITO導(dǎo)電膜通常要求在可見光范圍內(nèi)透光率在86%以上，它主要取決于ITO厚度和折射率，透光率為透過材料的光通量與入射的光通量之比：

Tt=×100%

ITO膜厚越大，方塊電阻塊越小，但并不意味透過率就減少，這是由于干涉效應(yīng)使得透過率隨膜厚變化呈周期性變化。

b)方塊電阻

如圖示電流流過方型導(dǎo)電膜層時(shí)：R=ρ(ρ為體電阻率)。

對(duì)于給定膜層ρ和d不變,當(dāng)L1=L2時(shí),其電阻為定值ρ/d。這就是方塊電阻的定義，即R□=ρ/d(Ω/□)。方塊電阻常用四探針測(cè)試儀測(cè)定。

c)平整度

平整度是指ITO導(dǎo)電膜表面在一定范圍內(nèi)的起伏程度。用h/L表示。即在長(zhǎng)度L的范圍內(nèi)，表面最高點(diǎn)與最低點(diǎn)的差值為h。如圖示：

ITO導(dǎo)電膜平整度參數(shù)包括：

1)、ITO導(dǎo)電膜表面粗糙度；

2)、ITO導(dǎo)電膜膜厚均勻度。

d)化學(xué)穩(wěn)定性

ITO導(dǎo)電膜的化學(xué)穩(wěn)定性是通過耐濕性和耐堿性試驗(yàn)來評(píng)價(jià)的。耐濕性的標(biāo)準(zhǔn)是在溫度60℃、濕度90%RH，24小時(shí)條件下，電阻變化在R=R0±10%范圍內(nèi)；耐堿性的標(biāo)準(zhǔn)是在溫度75℃、濃度1%NaOH液中浸泡20分鐘后，電阻變化在R=R0±10%范圍內(nèi)。

e)熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能

ITO導(dǎo)電膜在生產(chǎn)、加工使用過程中,常常ITO膜暴露在高溫環(huán)境中,所以ITO導(dǎo)電膜要有很好的熱穩(wěn)定性。

導(dǎo)電ITO玻璃整體要求有足夠的機(jī)械強(qiáng)度。ITO導(dǎo)電膜對(duì)基材表面附著力要強(qiáng)，不易脫落，并具備較好的抗劃傷能力。

五、電容屏透明導(dǎo)電膜的市場(chǎng)現(xiàn)狀

由于看好電容屏的后續(xù)市場(chǎng)發(fā)展，國(guó)內(nèi)在前幾年迎來了一輪觸摸顯示用ITO導(dǎo)電玻璃的擴(kuò)產(chǎn)潮，目前國(guó)內(nèi)共有觸摸顯示屏用ITO鍍膜線近六十條，年產(chǎn)ITO導(dǎo)電玻璃約600萬平米，供應(yīng)大約120家的TNLCD企業(yè)和90多家玻璃電容屏企業(yè)。

在電容觸摸屏的ITOPET導(dǎo)電膜方面，國(guó)內(nèi)也有萬順、歐菲光等企業(yè)實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。方興光電進(jìn)入ITOPET導(dǎo)電膜市場(chǎng)，將再次緩解國(guó)內(nèi)ITOPET導(dǎo)電膜方面的供應(yīng)缺口。

除ITO透明導(dǎo)電膜外，國(guó)內(nèi)石墨烯透明導(dǎo)電膜市場(chǎng)近日也是頻頻放出消息，萊寶高科(SZ:002106)、錦富新材(SZ:300128)、輝銳等都表示在石墨烯材料和觸摸屏應(yīng)用方面有新的突破。在納米材料方面，蘇大維格(SZ:300331)、歐菲光(SZ:002456)繼續(xù)加強(qiáng)納米銀粉金屬網(wǎng)格的研發(fā)與量產(chǎn)技術(shù)外，中科納通的納米銀絲也表示取得了新的突破。