等離子壓印蝕刻METAL MASH金屬網(wǎng)格加工方法　

一、基材的選擇　

在光學(xué)器件上，使用METAL MASH工藝制作導(dǎo)電金屬線路，目前用到的基材主要是透過率好的玻璃和PET樹脂。玻璃和PET樹脂這兩種材料，都具備比較簡單的物理加工特性和比較穩(wěn)定的化學(xué)保持特性，已經(jīng)在成熟的透明ITO鍍膜導(dǎo)電產(chǎn)品和顯示器件產(chǎn)品中被驗證和廣泛使用。

目前，蘋果的In-Cell觸摸顯示屏，使用的是在玻璃基體上制作METALMASH層，而其他正在研發(fā)的廠商，暫時都是選擇了PET樹脂作為基材。PET樹脂基材的優(yōu)勢是，如果研發(fā)成功，在大批量生產(chǎn)過程中，能夠使用ROLL TO ROLL工藝進行低成本高效率的生產(chǎn)。

等離子壓印蝕刻METAL MASH金屬網(wǎng)格加工方法，在基材的選擇上，沒有硬性的要求，所要注意的是，基材的平整度，要能滿足微米或納米級的加工工藝，在這一點上，市場上大部分的商品化基材，都可以滿足到。

二、金屬層制作

METAL MASH金屬網(wǎng)格的金屬層，如銅合金、鉻合金、錫鋅合金、銀合金、金合金、鉬鋁鉬組合合金、氧化鋅、湨化銀、納米銀絲、碳納米管、石墨烯、納米金屬氧化物等，可以通過傳統(tǒng)的蒸鍍、濺鍍、印刷、涂布、覆合等加工方式加工，制作成玻璃或PET、PC、PMMA、PI導(dǎo)電膜。

三、阻蝕油墨涂覆

1、阻蝕油墨涂覆

在基片上涂覆阻蝕油墨的方法有很多種，其中包含有絲網(wǎng)印刷、旋轉(zhuǎn)涂布、滾筒涂布、刮涂、浸涂等等。

在微壓印蝕刻工藝中阻蝕油墨的表面涂覆均勻性，要比化學(xué)蝕刻方法的銷微低一些，也就是說，在涂覆效果上，微壓印蝕刻工藝，可以允許表面粗糙度比較高。所以，如何選擇阻蝕油墨的加工方法，主要取決于你所選擇的阻蝕油墨粘度和你生產(chǎn)線的加工成本與效率。

對于阻蝕油墨的選擇上，也可以根據(jù)自己所掌握的生產(chǎn)工藝，結(jié)合等離子設(shè)備商的建議，選擇適合自己的阻蝕油墨。一般，如果熟悉干法工藝的工廠，建議使用機械剝離或強氧化去除的阻蝕油墨，如果是熟悉濕法工藝的工廠，則使用化學(xué)反應(yīng)去除的阻蝕油墨。

2、阻蝕油墨涂覆生產(chǎn)加工過程中的難點

光學(xué)器件中的METAL MASH網(wǎng)格工藝產(chǎn)品，要求METAL MASH網(wǎng)格寬度，都要在視覺分辨以下，只有幾個微米而己，因此，阻蝕油墨的另一個指標(biāo)，油墨填充物的粒子直徑，要在加工寬度的四分之一以下，這樣才能保證加工過程中的產(chǎn)品品質(zhì)和在制品良品率。

而在適應(yīng)涂覆工藝上，阻蝕油墨的選擇上，還是有很多要注意的地方。如果使用絲網(wǎng)印刷方式涂覆，選擇的阻蝕油墨一般的粘度會比較高，里面會需要更多的增粘填充物和適應(yīng)絲印的其它添加物，這些加入的物質(zhì)和油黑主劑本身，是不能跟制作絲網(wǎng)的網(wǎng)漿材料產(chǎn)生反應(yīng)的。

而網(wǎng)漿材料除了要在其固化以后的保形和抗機械磨損品質(zhì)上比較好以外，也需要跟阻蝕油墨一樣，填充物粒子直徑，也要在加工寬度的四分之一以下，這樣的話，即便是生產(chǎn)加工過程中，有少許的網(wǎng)漿在機械外力下脫落混入阻蝕油墨中，也不會影響后面工序的產(chǎn)品加工品質(zhì)。

而在旋轉(zhuǎn)涂布、滾筒涂布、刮涂、浸涂等等涂覆工藝中，油墨主劑除了也不能跟加工過程中所接觸到的容治具發(fā)生反應(yīng)外，為了適應(yīng)這些涂覆工藝，一般選擇的阻蝕油墨粘度會比較低，也就是說，里面會含有大量的溶劑或助劑來稀釋或調(diào)整油墨的粘度。需要注意的是，這些添加的溶劑或助劑，要能保證生產(chǎn)環(huán)境的安全生產(chǎn)需要。

在阻蝕膠的涂覆過程中，控制和處理外來污染物，是比較頭疼的一件事。就是目前的百級、十級的無塵車間，也還沒辦法杜絕微米級的塵埃進入生產(chǎn)車間，何況里面還有人員走動、物品搬運碰撞、機器機械運作等等在不停的制造粉塵混入車間空氣中。從這上面來看，阻蝕油墨主劑或溶劑，最好是能快速與這些粉塵產(chǎn)生溶解或反應(yīng)，讓這些粉塵從固態(tài)轉(zhuǎn)變成液態(tài)，在后續(xù)的加工過程中，形成跟阻蝕油墨一樣的化學(xué)特性或物理結(jié)構(gòu)，被揮發(fā)或同化掉。只是要滿足這個特性，就與阻蝕油墨不能跟容治具發(fā)生反應(yīng)這個基本要求是相背離的了。

所以，在這些塵埃不能完全避免的情況下，最大限度的減少它們的產(chǎn)生或傳播，是唯一的辦法。也就是說，METAL MASH金屬網(wǎng)格生產(chǎn)加工工藝環(huán)境，以及在這環(huán)境里的物品和設(shè)備，都要求十分苛嚴(yán)。