在集成電路芯片制造領(lǐng)域，北方華創(chuàng)微電子擁有刻蝕機(jī)、PVD、單片退火設(shè)備、氧化爐、退火(合金)爐、LPCVD以及清洗機(jī)七類產(chǎn)品。
經(jīng)過2017年的不懈努力，這些產(chǎn)品已經(jīng)全面在中國(guó)最主流的幾家集成電路芯片廠穩(wěn)定量產(chǎn)。
由北方華創(chuàng)自主研發(fā)的應(yīng)用于14nm先進(jìn)制程的等離子硅刻蝕機(jī)、Hardmask PVD、Al-Pad PVD、ALD、單片退火系統(tǒng)、LPCVD已正式進(jìn)入集成電路主流代工廠。
Hardmask PVD、Al Pad PVD設(shè)備成功進(jìn)入國(guó)際供應(yīng)鏈體系；12英寸65/55nm清洗機(jī)單機(jī)累計(jì)流片量已突破100萬片大關(guān)；深硅刻蝕設(shè)備也已成功進(jìn)入東南亞市場(chǎng)。
此外，應(yīng)用于28nm的Hardmask PVD系統(tǒng)工藝設(shè)備、應(yīng)用于28/40nm的單片退火設(shè)備、應(yīng)用于55nm的硅刻蝕機(jī)，均被國(guó)內(nèi)領(lǐng)軍集成電路芯片制造企業(yè)指定為baseline機(jī)臺(tái)。
在先進(jìn)封裝領(lǐng)域，北方華創(chuàng)微電子的等離子刻蝕機(jī)，PVD和Descum等設(shè)備已得到全面應(yīng)用，如WLCSP、 TSV、Copper pillar bump、Gold bump等。
在CIS WLCSP應(yīng)用中，北方華創(chuàng)微電子的PVD是世界第一條12英寸生產(chǎn)線baseline機(jī)臺(tái)，憑借穩(wěn)定優(yōu)異的表現(xiàn)，持續(xù)獲得重復(fù)訂單，并助力客戶不斷取得高端領(lǐng)域訂單。
在近幾年的新增市場(chǎng)中，北方華創(chuàng)TSV刻蝕機(jī)在中國(guó)大陸以絕對(duì)優(yōu)勢(shì)，保持著較大的市場(chǎng)占有率。
Copper Pillar Bump方面，PVD設(shè)備已進(jìn)入中國(guó)大陸前兩大封測(cè)廠生產(chǎn)線，Descum設(shè)備也已獲得前兩大封測(cè)廠的重復(fù)訂單；Gold Bump方面，北方華創(chuàng)的PVD設(shè)備在大陸主要金凸塊封測(cè)廠均實(shí)現(xiàn)銷售。
隨著先進(jìn)封裝技術(shù)向高密度和高集成度發(fā)展，市場(chǎng)將更多使用到通孔技術(shù)和重布線技術(shù)，意味著有更多的等離子刻蝕和PVD設(shè)備需求，這一趨勢(shì)與北方華創(chuàng)微電子的核心優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品高度吻合。北方華創(chuàng)微電子將持續(xù)在該領(lǐng)域提供更新的技術(shù)，以及更加優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。
在過去的兩年中，由于物聯(lián)網(wǎng)、車用電子、智慧家居等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛推動(dòng)，集成電路產(chǎn)業(yè)8英寸晶圓廠產(chǎn)能嚴(yán)重短缺，全球8英寸設(shè)備緊俏。
北方華創(chuàng)在8英寸設(shè)備上已積累多年。最初，北方華創(chuàng)微電子以集成電路領(lǐng)域的100納米刻蝕機(jī)起步，成功實(shí)現(xiàn)技術(shù)與市場(chǎng)的重大突破，并獲得2009年度國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
如今市場(chǎng)機(jī)遇隨勢(shì)而來，公司也在不斷創(chuàng)新和拓展。目前我們擁有多款8英寸的成熟產(chǎn)品和設(shè)備，包括硅刻蝕機(jī)、氧化硅刻蝕機(jī)、金屬刻蝕機(jī)、PECVD、氧化爐、LPCVD、單片清洗機(jī)及全自動(dòng)槽式清洗機(jī)等多款核心工藝設(shè)備。
作為國(guó)產(chǎn)設(shè)備商，我們更了解國(guó)內(nèi)市場(chǎng)和客戶的需要，能提供更及時(shí)優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，可以根據(jù)特色工藝與客戶進(jìn)一步開展深度合作，在8英寸新興應(yīng)用及特色工藝方面具有非常大的優(yōu)勢(shì)。
來源：中國(guó)電子報(bào)
01月07日 18:14
